净化原理
气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。
净化车间系统图
机械性过滤—HEPA网HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。
美国联邦标准209E
美国联邦标准209E是美国国家航空航天局（NASA）制定的净化空气等级的标准。它与ISO 14644-1类似，将空气质量划分为九个等级，从别Class 1到级别Class 100,000。
Class 1：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过1个。
Class 10：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过10个。
Class 100：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过100个。
Class 1,000：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过1,000个。
Class 10,000：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过10,000个。
Class 100,000：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过100,000个。
A级：这是的净化级别，每立方英尺的空气中，大于或等于0.5微米的尘埃颗粒不能超过3.5颗，而且每立方英尺的空气中，大于或等于0.1微米的尘埃颗粒不能超过1颗。这种级别的无尘洁净车间非常适合进行高度敏感或高精度的实验和研究。