高精度阻抗控制:高频高速线路板要求电镀层均匀性,以确保阻抗波动控制在极小范围内。如选择性电镀金工艺通过脉冲电镀,可使金层厚度偏差控制在 ±0.1μm,阻抗波动 ±3%。
低信号损耗:利用银等低电阻率金属作为镀层材料,在高频趋肤效应下,降低信号传输损耗。如沉银工艺在 10GHz 信号下,插入损耗仅为 0.18dB / 厘米。
工艺适配相关故障
线路桥连 / 短路:超细线路(≤10μm 线宽)间出现镀层粘连,多因光刻胶显影不彻底、电镀时金属离子过度沉积,或镀液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔内出现空洞、凹陷,影响层间导通和散热。成因是镀液流动性不足、电流密度未针对深宽比优化,或添加剂中整平剂含量不足。
基材损伤:特殊基材(如 PTFE)出现翘曲、开裂,多因电镀温度过高(超过基材耐热极限),或前处理化学药剂腐蚀基材表面。
去胶与蚀刻:剥离多余金属
用化学脱胶剂或等离子体去除表面光刻胶 / 干膜,露出下方未被电镀覆盖的种子层。
采用微蚀工艺,蚀刻掉多余种子层,仅保留电镀形成的功能线路,控制侧蚀量≤0.5μm。
蚀刻后彻底水洗,避免残留药剂腐蚀镀层或基材。

