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IC芯片固晶夹具核心概念解析

谢小姐    2025-09-03 08:42:45    22次浏览

一、核心概念解析

首先,我们来理解一下您提到的几个关键词:

固晶(Die Bonding): 半导体封装的核心工序之一,将晶圆上切割下来的单个芯片(Die)地粘贴到引线框架(Lead Frame)或基板(Substrate)的指定位置上。

固晶夹具/治具(Bonding Fixture/Jig): 用于在固晶过程中承载、定位和固定引线框架或基板的工具。它的核心作用是确保每个需要固晶的位置都处于同一水平高度(共面性),并且与固晶机的坐标系对准。

多芯片同步固晶载具: 这是一种高级治具,可以同时固定多个引线框架或基板,允许固晶机在一次加工循环中完成多片产品的固晶,极大提高了生产效率。这对夹具的精度和一致性要求极高。

高精度定位: 通常要求定位精度在±5μm甚至±1.5μm以内,以确保芯片能地放置在焊盘上。

二、这类治具的关键技术与特点

高精度加工: 采用精密磨床、慢走丝线切割、坐标磨等设备加工,确保每个腔体、定位pin孔的位置精度和尺寸精度。

的材料性能:

材料: 常使用殷钢(Invar)、殷钢、不锈钢(如SUS440C, SUS630)、碳化硅(SiC) 或高级工程陶瓷。

要求: 低热膨胀系数(CTE)、高硬度、高耐磨性、良好的尺寸稳定性和防锈能力。

特殊表面处理: 如镀镍、特氟龙涂层、陶瓷涂层等,以防止芯片粘附、减少静电、便于清洁和延长使用寿命。

复杂的结构设计: 尤其是多芯片载具,需要精巧的夹紧机构、真空吸附通道、防混料设计等。

三、厂家推荐(国内外)

选择厂家时,需要根据您的预算、精度要求、生产规模来决定是选择国际品牌还是国内厂商。

A. 国际品牌(精度高,价格昂贵)

这类厂家通常是半导体设备或精密工装领域的全球。

荷兰 Palomar Technologies:

简介: 高端半导体封装和微组装设备领域的巨头,他们也提供与其设备配套的超高精度治具和自动化解决方案。

优势: 精度极高,技术,尤其适合光电集成、激光器、微波等高端应用。

适合: 对精度有极端要求的客户。

日本/韩国专业治具厂商:

日韩有很多隐藏在产业链中的超精密加工企业,为三星、索尼等巨头供应治具。它们通常不直接对外宣传,需要通过行业渠道联系。其特点是工艺精湛,可靠性极好。

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