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光通信模块固晶治具传感器固晶载具特点与技术要求

谢小姐    2025-09-03 08:53:52    36次浏览

1. 光通信模块固晶治具应用:用于制造光收发模块(如TO-CAN、BOX、COC等),封装激光器(LD)、探测器(PD)、调制器(EML)等核心芯片。

核心要求

超高精度:光通信对芯片的位置和角度(六自由度)要求极其苛刻,常需亚微米级(±1μm)定位精度,以确保光路对准。

材料稳定性殷钢(Invar)碳化硅(SiC)陶瓷,确保在固晶加热过程中几乎不变形。

复杂结构:治具常带有精密台阶、斜面和定位孔,以适应复杂的管壳/底座结构。

洁净度:工作环境要求高,治具需易于清洁,防尘防静电。

2. 传感器固晶载具应用:用于MEMS传感器(如加速度计、陀螺仪)、红外传感器、压力传感器等芯片的封装。

核心要求

多品种、小批量:传感器种类繁多,治具多为定制化,要求厂家响应快、柔性生产能力高。

特殊处理:传感器芯片可能对静电敏感(ESD),治具需要做防静电涂层处理。

应对敏感结构:MEMS芯片可能有悬空结构,治具设计需避免压伤芯片,有时需要非接触式的真空吸附固定。

材料多样:根据精度要求,可采用铝合金(阳极氧化)、不锈钢或殷钢。

3. 陶瓷基板固晶治具应用:用于承载氧化铝(Al₂O₃)、氮化铝(AlN)、氮化硅(Si₃N₄)等陶瓷基板,常见于大功率LED、激光器、功率模块(IPM)、汽车电子等领域。

核心要求

高硬度、高耐磨:陶瓷基板本身非常坚硬,且边缘锋利,治具材料必须耐磨(如采用模具钢、高强度不锈钢),否则使用寿命短。

耐高温:陶瓷基板常采用共晶焊(高温烧结)工艺,治具需在300℃以上高温中保持稳定,殷钢是常见的选择。

定位:基板通常小而脆,治具的腔体尺寸和定位销精度要求高,防止基板移动或破裂。

真空吸附:广泛采用真空吸附来固定平整的陶瓷基板。

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